AltiSurf^© 575

Développé pour les applications de grande capacité, l'AltiSurf^© 575 est spécialement conçu pour la mesure de pièces volumineuses et de grandes dimensions. Il est parfaitement adapté aux panneaux plastiques, aux verres substrats minces, aux feuilles plastiques, aux tôles découpées ou embouties, aux cartes à puce, ainsi qu'aux composants électronniques comme le sicilium ou les verres de smartphones.

Grâce à son grand portique supérieur, il permet le positionnement facile de charges lourdes directement sur la base en granit, facilitant le serrage et rendant possible un chargement automatisé.

Comme les modèles AltiSurf^© 500, 520 et 530, il peut intégrer plusieurs types de capteurs et différents systèmes de maintien (billes, vide ou film d'air). Il embarque également une nouvelle génération de capteurs optiques, idéale pour des mesures multi-échantillons et pour la métrologie complète de dimension, forme et épaisseur.

Ses nombreuses options en font un outil performant aussi bien pour la R&D que pour le contrôle en production.

Principes de mesure :

• Confocal Chromatique

• Interférométrie visible et IR

• Triangulation Laser

• Palpeur à contact

Dimension structurelle :

• Poids : 365kg

• Dimensions (L x l x h) : 1244 x 1205 x 400 mm

• Capacité de mesure (X x Y x Z) : 750 x 750 x 75 mm

Plages de mesure :

• Vitesse des axes : Jusqu'à 100 mm/s ou 45 mm/s

• Résolution des axes : 4 ɥm / 1 ɥm

• Gamme de mesures : 100 ɥm à 40 mm

• Résolution en Z : A partir de 3 nm

• Résolution latéral : A partir de 0.9 ɥm

Performances de mesure :

• Exactitude de la hauteur de marche (9.4 ɥm) : 0.1%

• Exactitude de la rugosité (Ra 0.3 ɥm) : 0.3%

• Mesure d'épaisseur minimale : 4 ɥm

Informations utilisations :

• Normes:

  • ISO 21920

  • ISO 25178

  • ISO 4287

• Logiciels :

  • Acquisition : PhéNIX^©

  • Analyse : PheNIX^© Map/AltiMap

Informations spécifiques :

• Possibilité de mesurer toutes les surfaces (rugueuses, transparentes, polies...)

• Architecture multi-capteurs (confocale, interférométrique, I/R)

• Technologie IR : mesure d'épaisseur sur silicium sans posage aspirant

• Mesure optique : pas d'endommagement de la pièce mesurée

• Interface presse-bouton - simple d'utilisation